| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 價格區間 | 5千-1萬 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發科磁控管型冷陰極真空計
日本ULVAC愛發科磁控管型冷陰極真空計
特征
傳感器規格
當不需要壓力顯示時，可以實現以下優點：
由于取消了顯示器，真空計成本降低？更小的尺寸釋放了控制面板空間
減少布線
維護非常簡單
消除了細絲：不會因暴露在大氣壓下而損壞
控制輸出符號：2 個設定點輸出
輸出信號：壓力讀數為 0 至 10V Log 輸出（非線性輸出）
電源電壓：DC24V 供電
用于半導體、光學和電子零件制造的精密真空設備壓力范圍內的過程控制
工業設備（如熔爐）的低真空范圍內的過程控制
在壓力范圍內對具有多個工藝腔室的真空系統進行工藝控制，例如在線濺射和單晶片加工設備
| 類型 | 傳感器單元 | ||
| 型 | SC1 | ||
| 兼容的傳感器頭 | C-21、23、24、25 | ||
| 測量壓力范圍 | 1.0×10-5至 1.0 Pa | ||
| 7,5×10-8至 7.5×10-3托 | |||
| 1.0×10-7至 1.0×10-2毫巴 | |||
| 準確性 | +100%，-50%（1.0×10-4至 1.0×10-1Pa） | ||
| +100%，-50%（7.5×10-7至 7.5×10-4托爾） | |||
| +100%，-50%（1.0×10-6至 1.0×10-3mbar 的 | |||
| 測量值輸出 | 非線性輸出：0 至 10VDC | ||
| 壓力設定調整監視器 | 非線性輸出：0 至 10VDC | ||
| 控制輸入信號 | HV 開/關 | ||
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出，負邏輯 確認放電/設定點驅動信號 1/2 | ||
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出，負邏輯 確認放電/設定點驅動信號 1/2 | ||
| LED顯示屏 | 電源、HV、保護、SETPOINT1/2 | ||
| 工作溫度范圍 | 10 至 40°C（50 至 104°F） | ||
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（不結露） | ||
| 電源電壓 | DC24V±2V，150mA | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15pin（M2.6 螺絲） | ||
| 重量 | 430g（不包括傳感器頭） | ||
| 標準配件 | 輸入/輸出連接器 1 個 | ||
| 快速手冊 1 個 |
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